Công nghệ vi cơ điện tử: Hiện trạng và xu hướng phát triển ở Việt Nam

Gần đây, các nhà khoa học nhận thấy không chỉ có các thiết bị điện, điện tử mà cả thiết bị cơ khí cũng có thể giảm kích thước và sản xuất hàng loạt, hứa hẹn các khoản lợi nhuận như đã từng thấy đối với công nghệ mạch tích hợp. Trong đó điện tử đóng vai trò như bộ não cho các hệ thống và sản phẩm thì các thiết bị vi cơ khí lại có vai trò như hệ thống cảm biến, các bộ tiến hành giống như tai, tay, mắt chân, tay cho phép trao đổi thông tin với thế giới bên ngoài. Điều này được thể hiện rõ trong người máy Ashimo, robot do Honda phát triển có khả năng lên xuống cầu thang hoặc chơi bóng đá như một cầu thủ (ảnh).

Chính vì vây, thiết bị vi cơ khí chính là bộ phận chủ chốt trong rất nhiều loại sản phẩm như túi khí xe hơi, vòi phun của máy in, thiết bị đo huyết áp, và hệ thống hiển thị. Chắc chắn rằng trong tương tai rất gần những thiết bị như thế đóng vai trò thống trị như điều đã từng xảy ra với các thiết bị điện tử.

Thế nào là thiết bị vi cơ hệ thống? (Micro Electronic Mechanical System – MEMS)?

Khái niệm MEMS, chữ viết tắt của Hệ thống Vi cơ Điện tử, được sử dụng vào những năm 80 của thế kỷ trước khi mô tả sự tích hợp giữa các phần tử điện tử trên một chip được chế tạo thông qua công nghệ vi điện tử. Trong khi các điện tử được sản xuất sử dụng các quy trình cho mạch tích hợp (IC) như CMOS, hoặc CMOS lưỡng cực thì thành phần vi cơ khí được chế tạo nhờ quy trình “vi cơ” phù hợp cho phép ăn mòn chọn lọc một hoặc nhiều phần trên đế silíc hoặc thêm vào các lớp có cấu trúc mới để tạo nên các thiết bị vi cơ và vi cơ điện tử. Ngày nay, thuật ngữ MEMS được sử dụng thường xuyên khi nói tới bất cứ một hệ vi điện tử nào có thêm chức năng cơ khí và được sản xuất hàng loạt (ví dụ, hệ vi hộp số được chế tạo trên chíp có thể được coi là một thiết bị MEMS nhưng đồng hồ hoặc bút lade không được coi là vi hệ thống).

MEMS hứa hẹn cách mạng hoá gần như mọi chủng loại sản phẩm bằng việc kết hợp công nghệ vi điện tử trên nền tảng silicon và công nghệ vi cơ khí, tạo khả năng hiện thực hoá cái gọi là “hệ thống trên một chíp” hay “phòng thí nghiệm trên một chíp”. MEMS là công nghệ khả thi cho phép phát triển các sản phẩm thông minh, làm tăng khả năng tính toán điện tử với sự tham gia điều khiển của các cảm biến và bộ thi hành đồng thời mở rộng khả năng thiết kế và ứng dụng.

Như đã đề cập, MEMS làm tăng tính chính xác của hệ thống với “mắt” với “tay”, cho phép các vi hệ thống cảm nhận được môi trường và điều khiển môi trường. Cảm biến thu nhập thông tin từ môi trường thông qua các thông số cơ, nhiệt, sinh học, hoá học quang từ. Mạch điện tử sau đó sẽ xử lý các thông tin thu thập được từ các cảm biến và thông qua các phép tính toán sẽ ra quyết định cho bộ thi hành đáp ứng lại các thay đổi này như: dịch chuyển, định vị, điều tiết, bơm, lọc nhờ đó mà có thể điều khiển trở lại được các thông tin nói trên cho phù hợp với mục đích sử dụng.

Lợi ích từ MEMS

Sản xuất theo dây chuyền

Phần lớn các thiết bị MEMS được sản xuất hàng loạt, cho phép hàng ngàn thâm chí hàng triệu sản phẩm được chế tạo cùng lúc giúp hạ giá thành sản phẩm. MEMS cũng rất phù hợp với các ứng dụng ở diện rộng và mang tính khả thi với các hệ thống tinh vi được chế tạo hàng loạt mà trước đó không thể triển khai với các công nghệ chế tạo khác. Rất nhiều các sản phẩm MEMS tương tác cùng nhau mở ra các khả năng và cơ hội mới trong các ngành công nghiệp cũng như trong các lĩnh vực ứng dụng khác nhau.

Giảm kích thước

Kích thước nhỏ bé của thiết bị MEMS cho phép chúng tương thích với các hệ thống mà những sản phẩm có kích thước lớn hơn không thể thực hiện được. Và nhờ sự hoạt động ở kích thước nhỏ như vậy, cảm biến MEMS có thể phát hiện những tín hiệu cực nhỏ và bộ chấp nhận MEMS có thể thực thi những nhiệm vụ với độ chính xác rất cao, tạo ra các ứng dụng hoàn toàn mới.

Hiệu năng

Thiết bị MEMS có thể hoạt động trên phạm vi nhỏ mang lại rất nhiều lợi ích về hiệu năng và tính năng. Các hệ vi thuỷ lực có thể phân tích một lượng rất nhỏ chất lỏng và sử dụng rất ít mẫu. Máy vi quét cho phép hiển thị với độ phân giải và độ tương phản tốt hơn.

Tiết kiệm năng lượng

Kích thước nhỏ của linh kiện MEMS đồng nghĩa với việc tiêu thụ ít năng lượng, có ý nghĩa mấu chốt đối với các linh kiện điện tử. Các chuyển mạch tĩnh điện MEMS chỉ tiêu thụ vài nano oát.

Độ tin cậy

Rất nhiều thiết bị MEMS cho độ tin cậy hơn hẳn so với thiết bị truyền thống. Thiết bị MEMS thường được chế tạo với cấu trúc nguyên khối, không có mối nối, không dùng bi, bạc hoặc các gioăng có nguy cơ bị ăn mòn. Để làm tăng độ tin cậy, thiết bị MEMS được đóng kín trong môi trường được kiểm soát chặt chẽ nhằm ngăn chặn bụi bẩn, ăn mòn và do đó không cần bôi trơn, làm lạnh và bảo trì.

Khối lượng

Thay thế các thiết bị cồng kềnh bằng thiết bị MEMS làm giảm khối lượng một cách đáng kể, một lợi ích cực kỳ to lớn của các thiết bị điện tử ngành hàng không và xe hơi.

Vi hệ thống thông minh

Tính đồng vận kết hợp của điện tử tiên tiến với MEMS trên cùng một chíp thể hiện khả năng đáng kinh ngạc. Hiệu năng của MEMS có thể nâng cao rất nhiều bằng việc sử dụng phản hồi và điều khiển điện tử, và các thiết bị điện tử có thể có được những chức năng mới khi hoạt động cùng với MEMS. Khả năng ứng dụng trong phạm vị rộng lớn là hoàn toàn có thể đối với các hệ thống thông minh trên một chíp bao gồm cả các hệ thống truyền thông không dây, phòng phân tích hoá học, hệ thống xác định sinh trắc học trên một chíp.

MEMS và công nghệ Nano góp phần vào các phát kiến mới trong khoa học và kỹ thuật như vi hệ thống phản ứng chuỗi polyme (PCR) ứng dụng trong việc phân chuỗi và xác định DNA, kính hiển vi đầu dò quét (STMs), cảm biến sinh học để phát hiện và chọn lọc thuốc chữa...

Nhờ những tính năng vượt trội của công nghệ, sản phẩm MEMS đã, đang và sẽ được ứng dụng trong hầu hết các lĩnh vực. Do khuôn khổ bài viết có hạn chúng tôi xin đưa ra đây một vài ứng dụng tiêu biểu của MEMS.

Truyền thông

Công nghệ không dây đang lớn mạnh và đang thay đổi một cách nhanh chóng. Với sự tiến tới của một công nghệ mới đi đôi với nhu cầu ngày càng cao về băng thông và tính di động, các ứng dụng không dây ngày càng được phổ biến rộng trong thị trường từ các loại xe có gắn ra - đa cho tới các thiết bị y sinh mà khi đặt vào trong cơ thể cho phép truyền dữ liệu ra bộ thu bên ngoài cơ thể. Như vậy, khi thị trường cho các thiết bị không dây phát triển, chẳng có lý do gì ngành công nghiệp MEMS nano lại đứng ngoài cuộc.

Các nhà sản xuất các thiết bị không dây đang cố gắng đưa vào sản phẩm của họ nhiều thành phần, nhiều chức năng hơn. Ví dụ, những mẫu điện thoại thông minh 3G, 4G, PDA, hoặc các trạm thu phát ngày càng đòi hỏi có nhiều chức năng hơn. Để làm được điều này, công nghệ cho phép tích hợp ngày càng nhiều thành phần vào hệ thống là tất yếu. Và công nghệ không dây đang phải đối đầu với thách thức tương tự. Như vậy, khi thị trường đòi hỏi các chức năng mới, nó cũng đồng thời trông đợi các thông số theo chiều giảm về kích thước, giá cả, công suất tiêu hao.

Mạch giải tần cao sẽ thừa hưởng của công nghệ sóng rađiô (RF) - MEMS. Những linh kiện điện tử như bộ cảm, tụ xuyên ngầm có thể được cải thiện rõ rệt khi sử dụng mạng tích hợp. Với sự tổ hợp của những thành phần này hiệu năng của các mạch thông tin được cải tiến rõ rệt đồng thời làm giảm diện tích mạch, công suất tiêu thụ. Thêm vào đó, chuyển mạch cơ khí là bộ phận chủ chốt trong rất nhiều loại mạch dùng vi sóng. Các mẫu thử nghiệm cho thấy chuyển mạch cơ khí sử dụng công nghệ MEMS có hệ số phẩm chất cao hơn rất nhiều so với bất kỳ loại chuyển mạch sử dụng công nghệ mạch tích hợp trước kia. Tuy vậy việc đóng gói và độ tin cậy luôn luôn là hai thách thức trong việc thương mại hoá các linh kiện RF - MEMS.

Các thiết bị thụ động rời rạc như chuyển mạch RF, điốt biến dạng, bộ cộng hưởng có hệ số phẩm chất cao và các bộ lọc được xem như các linh kiện có thể được RF - MEMS thay bằng các cấu tử MEMS.

Với ứng dụng RF, các ứng dụng ở đây là công nghệ trên nền IC cho phép tích hợp các thiết bị MEMS - RF trực tiếp lên bề mặt của IC bằng việc sử dụng công nghệ tạo màng Cu dầy tương thích với tụ MOS (CMOS), hoặc BiCMOS và các quá trình công nghệ Gali - Asen (GaAs).

Các nhà sản xuất công nghiệp đã nhìn thấy những lợi ích ban đầu do công nghệ tiên tiến này mang lại. Và chắc rằng, các thiết bị MEMS tích hợp mạch radio sẽ có cơ thay thế mọi chip RF rời rạc bằng một chíp tích hợp duy nhất, với độ phân giải cực lớn. Do giới hạn về công nghệ và quy trình sản xuất nên chúng ta chưa thể làm được điều này, nhưng chỉ cần thay một phần chíp RF - MEMS chúng ta đã có thể tiết kiệm được một cách đáng kể không gian (kích thước) và chi phí sản xuất, cho phép có được sản phẩm nhỏ hơn như các điện thoại di động siêu mỏng của Motorola, Samsung hay Nokia, hoặc các thiết bị truyền dẫn, các bộ định tuyến và các điểm truy cập internet không dây với đồng thuận sâu sắc của các hãng chế tạo khổng lồ như: Intel, Cisco System, D - link, Samsung Electronic…

Công nghiệp xe hơi

Sau khi tốn gần 25 năm trong phòng thí nghiệm, cuối cùng công nghiệp ôtô là ngành đầu tiên thương mại hoá sản phẩm MEMS vào những năm 90 của thế kỷ trước, đó là cảm biến gia tốc trong các túi khí. Gia tốc kế MEMS nhỏ hơn, tin cậy hơn và giá cả thấp hơn. Trong công nghệ truyền thống người ta ghép các gia tốc kế dạng khối ở phía trước của xe hơn và các thiết bị khác, độc lập với gai tốc kế, nằm sát túi khí; mỗi hệ như vậy (cho một xe) trị giá khoảng 50 USD. Công nghệ Nanô và công nghệ MEMS cho phép tích hợp gia tốc kế và các thành phần điện tử trên một chip silíc với giá khoảng 5 - 10 USD.

Còn rất nhiều ứng dụng khác của MEMS trong công nghiệp ôtô hiện đã được sử dụng hoặc thời gian rất gần như cảm biến áp suất nhiên liệu, dòng nhiên liệu, cảm biến áp suất cho lốp xe với bơm lốp tự động được tích hợp sẵn, cảm biến thông minh tránh va chạm và chống trượt, dầm treo “thông minh” trong các bộ phận xe thể thao làm giảm nguy cơ lật xe, cảm biến trong hệ thống dây an toàn khi lái xe, điều chỉnh mức độ đèn trước và dẫn đường.

Ứng dụng trong mạng quang học

Một ứng dụng quan trong khác của thiết bị MEMS là trong các mạng sợi quang. Ở kích thước micron, các bộ chuyển đổi dựa trên MEMS dẫn đường cho ánh sáng từ một sợi này đến một sợi quang khacá. Tiếp cận này cho phép một mạng quang thực thụ (hoàn toàn dựa trên ánh sáng) có thể truyền dữ liệu, vì các chuyển mạch này không đòi hỏi có sự chuyển đổi tín hiệu quang sang điện và ngược lại.

Điều này rất quang trọng vì các bộ chuyển sử dụng chuyển đổi Quang - Điện - Quang (OEO) có thể thường gây ra hiện tượng nghẽn cổ chai, cản trở việc hiện thực hoá mạng băng rộng thực thụ. Nhưng MEMS và các thiết bị dựa trên công nghệ này có thể chuyển mạch trong mạng quang. Các ứng dụng mới gồm nguồn tích cực, các bộ lọc xuyên ngầm, bộ suy giảm quang, hiệu chỉnh khuếch đại và thiết bị bù tán xạ.

Trên những thành tựu đó chúng ta có được mạng quang đầu mạng - đầu mạng với độ tin cậy tốt hơn, giá thành thấp hơn và đặc biệt với tỷ lệ rớt mạng rất thấp. Tuy vậy, phát triển một mạng quang thuần tuý là rất phức tạp và là thách thức vì cần phải tích hợp các thành phần cơ, quang và điện tử trong cùng một hệ thóng.

Vi gương: mấu chốt trong truyền thông quang học

Trong khi nhiều ứng dụng chủ chốt cho các thiết bị MEMS đòi hỏi chúng ta phải hoạt động với chức năng như van hoặc bơm, chức năng được phát triển cho mạng quang học đặc biệt là xoay quanh các vi gương dựa trên MEMS.

Vi gương thực chất là phần tử cơ khí căn bản cho việc chuyển quang ở các mối đấu chữ thập cho phép chuyển tần số ánh sáng từ một sợi quang này đến một sợi quang khác. Quá trình này bao gồm cả các cổng vào/ra, bộ chấp hành, và một bề mặt gương. Khi áp thế vào bộ phận chấp hành, làm cho gương dịch chuyển và hướng ánh sáng về một lối ra đặc biệt nào đó, vi gương sẽ đứng im cho tới khi cần phải dịch chuyển quang lộ theo một hướng khác.

Chuyển mạch MEMS bao gồm cả phần cơ khí và phần vi kênh. Chuyển mạch cơ học, hiện đang là tiếp cận có độ tin cậy cao nhất và tính linh hoạt lớn nhất, dựa trên tập hợp các vi gương cơ khí được sắp xếp theo chủ định với mức độ tích hợp từ hàng trăm đến hàng ngàn chiếc trên một chíp.

Những chuyển mạch dựa trên cơ sở các vi gương này được phân loại theo hai chiều, nơi mà chúng có thể dịch chuyển lên, xuống, trái, phải hoặc ba chiều nơi chúng có thể xoay một cách dễ dàng.

Chuyển mạch dựa trên cơ sở MEMS phải có độ tin cậy rất cao để thoả mãn các tiêu chuẩn và yêu cầu của mạng trong tinh quang - chúng phải giữ được độ chính xác về vị trí sau hàng triệu, hàng tỷ các vụ được thực hiện và dĩ nhiên chúng phải được thiết kế để đáp ứng những điều kiện khắc nghiệt về môi trường liên quan nhiệt độ, và sự dao động. Tất cả những yêu cầu khắt khe đó đều được thoả mãn nhờ có công nghệ MEMS.

Công nghệ MEMS đang phát triển với tốc độ chóng mặt, và đang hàng ngày làm thay đổi thế giới. Sự phát triển đó thấy rõ, không chỉ riêng ở các nước có nền công nghệ tiên tiến mà thực sự đang diễn ra tại Việt Nam .

Tình hình phát triển và ứng dụng công nghệ MEMS tại Việt Nam

Công nghệ MEMS được đưa vào nghiên cứu tại Việt Nam ngay sau khi có sự dịch chuyển nền kinh tế, kêu gọi đầu tư ở cuối thập niên 90 đã dấy lên làn sóng dịch chuyển đầu tư của các công ty đa quốc gia tới Việt Nam. Trong số đó có không ít công ty hàng đầu trong công nghệ điện tử, bán dẫn và sản xuất các sản phẩm dựa trên công nghệ MEMS. Canon Inc tại khu công nghiệp Thăng Long, Hà Nội hoạt động từ năm 2002 chuyên sản xuất máy in phun. Năm 2005, Canon Thăng Long đạt doanh thu 410 triệu USD. Không dừng lại ở đó, nhà máy tại khu công nghiệp Quế Võ đã được khánh thành vào cuối năm 2005. Giai đoạn I, nhà máy có số vốn đầu tư 70 triệu USD này chuyên sản xuất các sản phẩm máy in phun với công suất 700.000 sản phẩm/tháng. Nếu hoạt động ổn định, đạt công suất thiết kế, nhà máy sẽ đạt mức doanh thu 400 triệu USD/năm. Trong giai đoạn II, công ty sẽ đầu tư tiếp trên 40 triệu (nguồn: TTXVN). Có lẽ Canon là một trong những ví dụ điển hình minh chứng cho việc phát triển công nghệ in ấn sử dụng thành quả của công nghệ MEMS. Ngoài ra còn rất nhiều các công ty khác trong ngành ôtô đã đầu tư tại Việt Namnhư Honda, Toyota , Ford…

Không chỉ riêng Canon, cuối tháng 2/2006, Intel - tập đoàn sản xuất bộ vi xử lý và bo mạch lớn nhất thế giới, đã chính thức đón nhận giấy phép đầu tư xây dựng nhà máy đóng gói và hoàn thiện chíp vi xử lý với tổng số vốn đầu tư lên tới 605 triệu đô - la, sau đó Intel đã quyết định nâng số vốn đầu tư lên tới 1 tỷ đô la Mỹ (nguồn: Thời báo kinh tế VN). Sự kiện này kéo theo làn sóng đầu tư của các công ty công nghệ phụ trợ đến từ Hợp chủng quốc Hoa Kỳ, Hàn Quốc, và Nhật Bản. Những số liệu ở đây là thực sự chưa đầy đủ của các tập đoàn lớn vào Việt Nam.

Chậm hơn so với đầu tư các tập đoàn lớn, các đơn vị quản lý và các chuyên gia đầu ngành về công nghệ MEMS đã ý thức được rất sớm tầm quan trọng của công nghệ tiên tiến này và sớm đưa các nội dung nghiên cứu ban đầu về công nghệ vi cơ điện tử, triển khai tại các cơ sở nghiên cứu trong nước. Tuy nhiên, những nội dung nghiên cứu này không đơn thuần là việc mua nguyên liệu về và trải qua một số bước như gia công, đúc hay đổ khuôn là có ngay thành phẩm (còn nhớ riêng việc nghiên cứu phát triển gia tốc kế trong công nghiệp ôtô đã tiêu tốn của các nhà khoa học tới gần 30 năm). Cụ thể hơn, công nghệ này đòi hỏi có sự đầu tư ban đầu khá lớn, đồng bộ và trọng điểm. Vào thời điểm ban đầu, chỉ rất ít Giáo sư có kinh nghiệm trong lĩnh vực này, tập trung ở một số trường đại học lớn như ĐH Bách Khoa Hà Nội, trường ĐH Quốc gia Hà Nội… Để phát triển một nghiên cứu mới, cần phải có ba điều kiện: sự đồng thuận của cơ quan quản lý, cơ sở hạ tầng và nhân lực. Như đã nói, các cấp quản lý rất ý thức được tầm quan trọng của ngành công nghệ này và đã tạo điều kiện để các cơ sở nghiên cứu có kinh phí đầu tư trang thiết bị tối thiểu. Tuy vậy, điều kiện thứ ba không thể một năm, hai năm có thể thực hiên được.

Ngoài khu vực công nghiệp, các cơ sở nghiên cứu tại Việt Nam đã có những khởi động đón đầu xu hướng này, điển hình là Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ITIMS) - Trường ĐH Bách Khoa Hà Nội. Ngay từ những ngày đầu thành lập (12/1992), Viện ITIMS đã coi ngành công nghệ Vật liệu tiên tiến trong đó có Công nghệ Vi điện tử, Công nghệ MEMS là chiến lược phát triển. Với chức năng là đào tạo ở bậc sau đại học (thạc sỹ và nghiên cứu sinh) và nghiên cứu các ngành công nghệ nói trên, với sự đầu tư ban đầu khá lớn trong khuôn khổ hợp tác Hà Lan - Việt Nam, ITIMS đã chuẩn bị cho mình một đội ngũ cán bộ được đào tạo một các bài bản và chất lượng cao về công nghệ MEMS khối. Những cán bộ tốt nghiệp từ ITIMS, sau khi hoàn thành chương trình NCS tại các cơ đào tạo tại châu Âu, Mỹ, Hàn Quốc và Nhật Bản thường làm việc trực tiếp cho các cơ sở nghiên cứu (Viện KH Việt Nam, ĐH Bách Khoa Hà Nội, Bách Khoa TP Hồ Chí Minh, các trường ĐH Quốc gia, hoặc những công ty đa Quốc gia tại Việt Nam (Canon, Intel…).

Về mặt công nghệ, nhóm công nghệ MEMS tại ITIMS xác định tập trung vào phát triển một số sản phẩm mang tính chiến lược và phù hợp với điều kiện công nghệ, như: cảm biến áp suất kiểu áp trở, cảm biến gia tốc kiểu áp trở, cảm biến áp suất kiểu tụ, cảm biến gia tốc kiểu tụ.

Thêm vào đó, đội ngũ kỹ sư ở ĐH Bách Khoa Hà Nội còn tham gia phát triển thiết bị hàn tĩnh điện cho phép hàn ghép thuỷ tinh - silíc (nhiệt độ làm việc của bộ khống chế nhiệt độ: 30/600 ⁰C, bộ khống chế nhiệt độ hoạt động ổn định và có khả năng đạt đến 350 ⁰C trong khoảng 420 giây) và một số thiết bị ăn mòn ướt khác. Chế tạo phiên bản đầu của vi cân thạch anh (Quartz Micro Balance) mở ra hướng nghiên cứu virut HIV…

Ngoài Đại học Bách Khoa Hà Nội, khoa điện tử Viễn thông - Đại học Công nghệ - Đại học Quốc gia Hà Nội cũng đã có một số định hướng nghiên cứu ban đầu về màng công nghệ này như cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc và cảm biến vận tốc. Đơn vị này còn ứng dụng cảm biến MEMS trong việc điều khiển robot từ xa cũng như thiết kế các robot tự cân bằng…

Các loại cảm biến đã được phân tích đánh giá và các phẩm chất thu được là tương đối tốt. Tuy nhiên, một điều cần lưu ý là trong công nghệ chế tạo MEMS, quá trình đóng gói (pack - aging) đóng một vai trò rất quan trọng trong việc đưa cảm biến ra ứng dụng thực sự. Trong hoàn cảnh hiện tại Việt Nam vẫn chưa có đầy đủ điều kiện, các cảm biếm mới dừng ở mức nguyên mẫu. Trong tương lai, khi đã có đủ các thiết bị cho việc đóng gói, các cảm biến này hoàn toàn có thể được chế tạo hàng loạt và đưa vào ứng dụng. Điều này giúp cho chúng ta có thể làm chủ công nghệ MEMS và triển khai các ứng dụng không phụ thuộc vào nguồn linh kiện ngoại nhập.

Tài liệu tham khảo

1. Báo cáo tổng kết chương trình nghiên cứu khoa học công nghệ cấp Nhà nướ về “Nghiên cứu chế tạo một số các lionh kiện cơ, quang, điện tử và trên cơ sở công nghệ vi điện tử và vật liệu cso cấu trúc nanô” - mã số 811704, cơ quan chủ trì Việnn ITIMS, Trương Đại học Bách Khoa Hà Nội.

2. Marc J.Mardou “Fundermental of Microfabrication, The Science of Miniturization”, Second Edittion, CRC Press.

3. http:/asimo.honda.com./

4. Báo Đầu tư - www.vir.com.vn

5. Thời Báo Kinh tế Việt Nam - www.vneconomy.com.vn

6. Microfabrica - www.microfabrica.com

Hình 1: Ashimo có thể leo cầu thang (a), đá bòng (b) là nhờ có những cấu trúc cực kỳ tinh vi và phức tạp (c) trong đó tích hợp rất nhiều hệ thóng MEMS. Nguồn http://asimo.honda.com/

Hình 2: Bạn có tin một chiếc Boeing có thể chui qua một lỗ kim?

Hình 3: Thiết bị phát tần số Radio như thế này có thể tiêu tốn bao nhiêu năng lượng?

Hình 4: Chuyển mạch RF – http://www.dowkey.com

Hình 5: Túi khí sử dụng cảm biến gia tốc trên cơ sở MEMS không chỉ dùng cho xe hơi… ( www.edmunds.com)

Hình 6: Người ta còn dùng nó cho các cuộc đổ bộ ngoài vũ trụ. (nguồn www.nasa.gov)

Hình 7: Vi gương www.mưmmagazine.org(kích thước thật)…

Hình 8: phóng to

Nguồn: T/c Tự động hoá ngày nay, số 3/2007, tr 39 - 43.